Semiconductor

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Innovador material de espuma de TPU para la aplicación CMP en la industria de semiconductores

Descripción

Nuestras láminas de TPU espumadas físicamente están diseñadas para cumplir con los exigentes requisitos de los procesos de planarización mecánica química (CMP) en la industria de los semiconductores. Con una estructura celular fina y uniforme y propiedades de compresión personalizables, estas láminas de espuma son ideales para usar como subalmohadillas o capas de amortiguación debajo de las almohadillas de pulido.

Características principales:

  • Excelente compresibilidad y resistencia
    Proporciona una distribución uniforme de la presión y un contacto constante con la superficie durante el pulido de las obleas.

  • Estructura celular fina
    Garantiza bajos defectos superficiales y un rendimiento de pulido estable.

  • Resistencia química
    Soporta lodos CMP y agentes de limpieza, manteniendo la durabilidad a largo plazo.

  • Estabilidad dimensional
    Mantiene la planitud y la uniformidad del espesor bajo estrés térmico y mecánico.

  • Dureza y espesor personalizables
    Diseñado para satisfacer necesidades específicas de equipos y procesos.

Aplicaciones típicas:

  • Almohadilla auxiliar para sistemas de pulido CMP de obleas

  • Capa de amortiguación para el pulido de cristales LCD o lentes ópticos

  • Capa de amortiguación en construcciones de almohadillas CMP multicapa

Disponibles en varias densidades, espesores y niveles de dureza, nuestras láminas de espuma TPU ofrecen un rendimiento constante y de alta precisión para la fabricación avanzada de semiconductores.

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